机械泵是一种常见的低真空泵,其工作原理是通过机械运动将气体分子逐渐压缩并排出泵室。机械泵的排气速度比油扩散泵快得多,可以有效地防止气体回流现象的发生。因此,将油扩散泵和机械泵连用可以充分利用两种泵的优势,提高真空度。
具体来说,连接油扩散泵和机械泵的方式一般是将两个泵串联,即将机械泵的出口与油扩散泵的进口相连,而油扩散泵的出口则直接排出气体。这样,机械泵可以将气体分子压缩并排出,使得真空度逐渐升高,当真空度达到一定程度时,油扩散泵开始工作,通过油蒸气分子与气体分子的碰撞将气体分子排出泵室,从而进一步提高真空度。
除了可以提高真空度外,连接油扩散泵和机械泵还可以使得油扩散泵的使用寿命更长。因为油扩散泵在高真空下工作时,油蒸气分子会被抽出泵室,从而使得油的量逐渐减少,如果没有机械泵的帮助,油扩散泵需要经常更换油。而连接机械泵可以将气体分子尽可能地排出泵室,从而减少油的消耗,延长油扩散泵的使用寿命。
总之,连接油扩散泵和机械泵可以提高真空度,延长油扩散泵的使用寿命,是一种常见的高真空系统搭建方式。